无尘车间工程的构造形式
套间式各洁净区根据工艺流程和洁净度要求进行分隔连接,控制各区压差。多用于行业和经营部门,常归类为开放式。隧道式是“线”保护而不是“面”保护的典型代表。它有两种基本形式,一种是放置各相关工艺设备的关键加工件,另一种是放置各工艺设备的关键加工件。非单向流洁净隧道罩流层下,其他同前。
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