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探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关可搭配Probe card测试适用领域：晶圆厂、研究所、高校等半自动型chuck尺寸800mm/600mmX,Y电动移动行程200mm/150mmchuck粗调升降9mm，微调升降16mm可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜针座摆放个数6～8颗显微镜X-Y-Z移动范围2'x2'x2'科迪仪器科技(苏州)有限公司科迪仪器科技(苏州)有限公司

动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔，处理完毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态。需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15～25 ℃，相对湿度小于50%的环境中，其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5 ℃，气压为0．4±0．04MPa。