比如说在微电子工作的芯片出产过程中,对微粒的控制要抵达分子级,该工作对出产环境要求非常苛刻,如不满意出产的环境需求就无法进行出产,或者说出产出来的产品都是报废品,无法运用。无尘室的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。负压密封,FFU送风系统的静压箱为负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从无尘室向静压箱泄漏,不会形成对无尘室的污染。
无尘室龙骨架的选用:由于FFU的风机过滤机组是直接安装在天花板骨架间,为了使过滤器既要更换简便快捷,又要使FFU的风机运行保持平衡,减少安装失衡的机率。因此一般考虑配套的龙骨架。这种龙骨架是采用机械冷轧成特殊几何形状(U形)的型钢,金属表面根据其环境不同,进行防腐处理(如静电喷涂、热冷镀锌、环氧等),可以即保证了与之相似槽钢的强度,又满足了FFU运行的需求。
电话和火警设备不能少,在无尘室工程厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。此外,无尘室还应设置火灾报警系统,防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。在选择FFU风机外壳结构的时候,不但要考虑避免风机泄漏和消除运输与搬运期间带来的损坏,而且还要考虑能用消毒剂消毒,以及FFU使用的环境,因此zui好选用不锈钢或铝合金的材料作外壳。无尘室FFU控制方式:目前FFU一般采用单相多速交流电机、三相多速交流电机和直流电机。电机的供电电压大致有110V、220V、270V、380V四种。
千级无尘室的湿度要求是多少?无尘室不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点:对于300000级空气净化处理,可采用亚过滤器代替过滤器;空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理,应采用初、中、过滤器三级过滤器;中效或空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段;或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。电话和火警设备不能少,在无尘室工程厂房设置电话,对讲电话,可以减少人员在洁净区走动,减少发尘量,也可在万一发生火灾时及时与外部联系,也为正常工作联系创造条件。此外,无尘室还应设置火灾报警系统,防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。
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