标准气体的检测
标准气体的量值是否满足要求, 分析检测是重要的环节之一。按照制备方法充装完成后, 量值的均匀性,稳定性和准确性如何, 必需靠分析检测来完成。气相色谱法作为广泛应用的定量分析方法已被人们认同,分离柱已从填充柱发展到毛细管柱,大大优化了柱效能, 而检测技术已从常量检测发展到微量及痕量分析。
常用的检测器包括TCD、 FID、 ECD、FPD、 TSD、 HID、DID、PDID,化学分析作为经典分析方法也常用在腐蚀性气体的分析中, 红外光谱法、可见--紫外光谱法、 色谱/质谱联用技术也常用在气体分析中。
安全贮运
1. 危险品专车运输, 是厂家直接送货并有合格的押运员, 懂行的搬运工, 轻装轻卸。
2. 瓶帽必须配戴好, 避免在汽车急刹车及装卸过程中撞开瓶阀发生危险, 特别是高纯氢等易i燃气的运输。
3. 禁止高纯氧、空气和可燃气体混装。
同时, 严禁烟火, 运输工具上应备有灭火器材。
4. 夏季运输应有遮阳设施, 避免曝晒。
5. 有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁, 避免阳光直射, 气瓶库应清楚地i标明“气瓶贮存”字样, 显示适当的危险标记(例如易i燃、易i爆、有毒等) 。
6. 有专人负责管理, 验收核实, 登记发放做到有帐可查。
7. 不管是仓库还是使用场所, 空瓶与实瓶都应分开放置, 并有明显标志。毒性气体气瓶和瓶内气体相互接触能引起燃烧、爆i炸, 产生毒物的气瓶应分室存放, 并在附近设置防毒用具、灭火器材。
8. 放置气瓶时应配戴好瓶帽。立放时要妥善固定, 防止倒瓶碰坏瓶阀。
9. 气瓶露天使用时应加以防护, 防止生锈和侵蚀, 库存瓶要定期检查, 色标、合格证、泄漏等如不清楚、有疑问, 应及时和厂家联系, 分析确认后才可使用。
10. 另外气体采购计划按生产需要的实际情况尽量做到现购现用, 以防止使用过期钢瓶, 同时可减少很多不安全因素。
建议生产及销售石化特种气体的单位在产品出厂时瓶嘴上戴防污帽。建议运输部门生产钢瓶运输车。
气体产品大至可以分为两大类别,即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大,但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。特种气体因种类 很多,又可以分为三类,即高纯气体、标准气体和电子特种气体。
1、高纯气体
高纯气体通常指利用现代提纯技术能制取的某个纯度等级的气体,纯度等级可以不同。
2、一般混合气体
由两种以上气体混台配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。
其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、MOCVD/LED消费工艺和气体应用。
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