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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。如真空设备（真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等），需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器（液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等），要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要先进行检漏，使用中也要定期进行检漏检查。

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氦气检漏仪进行氦气检漏方法操作：

1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测；

2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行；

3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始氦气检漏（等待几分钟）；

4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏；

5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”；

6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。全部完成充氦气后再观察20分钟，看数值有无大的变动。

7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，关电源。

氢气的应用场合

氢气，化学式为H₂，分子量为2.01588，常温常压下，是一种极烧的气体。

氢气是世界上已知的密度小的气体，氢气的密度只有空气的1/14，即在1标准大气压和0℃，氢气的密度为0.089g/L。工业上一般从或水煤气制氢气，而不采用高耗能的电解水的方法。

氢气一般出现在1.做还原气：金属加工。2.做保护气：金属加工。3.做燃料气：电子行业、玻璃行业。4.做冷却介质：电厂。5.做为化工介质：油脂加氢。6.做燃料用：液氢、航天、航海等。7.焊接行业。8.医院。