在螺杆转动时，二个螺杆之间、螺杆和泵体之间都保持一定的间隙互不接触，因而运转时泵腔内无摩擦，可以实现转子的高转速运转。依靠转子间隙和泵腔间隙进行密封，将被抽气体通过螺杆转子平顺地压送到排气口，并直接排出泵腔，螺杆两端的油封确保齿轮箱内的润滑油无法进入泵腔内部。螺杆真空泵为卧式结构，采用联轴器与电机直连。其泵腔无油运转清洁环保，是油封式、喷射式、液环式真空泵的更好换代产品。变螺杆转子可实现客户定制化设计与制造，更好满足客户需求。 广泛应用于电子光伏、医疗、医药化工、食品加工、包装、石油化工、半导体等行业。
●在半导体合成及液晶生产上，主要有半导体等离子增强气相沉淀和反映离子刻蚀工艺，液晶生产蚀刻制程和生产TFT荧幕电浆的CVD制程中。
●在石油化工生产上，主要是抽取可凝性气体，或有害气体，或腐蚀性气体，或含有微尘的气体。
●在制药行业上，主要用于药物的真空干燥，医药中间体回收，回收气体消毒剂等。
●在化工行业生产上，主要用于真空蒸馏及溶剂萃取回收。
●在食品行业生产上，主要用于香料、香精浓缩，包装，脱水干燥。
螺杆真空泵
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