深冷法：
此法是先将空气压缩、冷却，并使空气液化，利用氧、氮组分的沸点的不同（在大气压下氧的沸点为90K，氮的沸点为77K），在精馏塔的塔盘上使气、液接触，进行质、热交换，高沸点的氧不断从蒸汽中冷凝成液体，低沸点的氮不断的转入蒸汽中，使上升的蒸汽中含氮量不断提高，而下流液体中含氧量越来越高，从而使氧、氮分离，得到氮气或氧气。此法是在120K以下的温度条件下进行的，故称为深冷法空气分离。
空气压缩机：按工作原理，空气压缩机可分为容积式和速度式两大类。目前空气压缩机多采用往复活塞式空气压缩机、离心式空气压缩机和螺杆式空气压缩机。
空气冷却器：是用来降低进入空气干燥净化器和空分塔前压缩空气的温度，避免进塔温度大幅度波动,并可析出压缩空气中的大部分水分。通常采用氮水冷却器（由水冷却塔和空气冷却塔组成：水冷塔是用空分塔内出来的废气冷却循环水，空冷塔是用水冷塔出来的循环水冷却空气）、氟里昂空冷器。
怎么预防制氮装置呢？
工业制氧机又称为空气分离机器设备（通称气体设备），它的种类很多，根据不一样的归类方法，也是有很多不一样的种类。
直流变压器吸附医用制氧机组机器设备采用沸石分子筛为吸附剂，利用直流变压器吸附原理，立即从空气压缩中获得O2。
当吸附塔里吸附的氮等残渣做到必然水平后，下力使沸石分子筛解析，是吸附剂再造，得到反复循环系统应用。采用2个吸附塔在PLC的操纵下循环系统工作中，连续产出率O2。