曝光一般在曝光机内进行,目前的曝光机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,曝光质量取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、曝光时间、菲林胶片质量等因素。
蚀刻加工中曝光显影是蚀刻工序前的一步重要的工序,曝光是将需要蚀刻的图案通过光绘转移到两张一样的菲林胶片上,然后通过机器定位或者人工定位的方式去将菲林对准,再将涂布感光油墨的蚀刻片置于菲林中间,固定后进行曝光。曝光后的干膜有些需要放置10~15min后才能显影,这必须根据实际情况,根据干膜的要求执行。
利用稀碱溶液与光致抗蚀剂中未曝光部分的活性基团(羧基)反应,生成可溶性的物质溶于水,而曝光部分的干膜不发生溶解。
过量曝光会使图形线条变细,蚀刻产品线条变粗。所以的办法是依据显影的干膜光亮程度,图像清晰度,图案线条与底片相符,曝光设备参数和感光性能,确定适合的曝光时间。曝光时菲林胶片黑色部分的钢片不被感光,对于空白的蚀刻钢片感光,钢片感光的油墨发生聚合反应,然后通过显影机,蚀刻钢片上的感光油墨不被显影液所融化,为感光的油墨被显影液去除,通过这样的方式,需要蚀刻的图案显影在钢片上面了。