利用220V低电压高强度的宽波幅光子管发出的特定波段能量均衡的光照射废气，裂解气体中如：氨、硫化氧、甲硫醚、二甲二硫、VOC类，二甲ben的分子链结构，使有机或无机高分子污染物分子链，在高能紫外线光速照射下，降解小分子化合物。
利用高能高臭氧紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离样，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与样分子结合，进而产生臭氧。
近年来我国工业比较发达，虽然发达国家生产的是大量工业废气，所以需要大量的工业废气处理设备来处理这些不同的工业废气，所以现在一般的废气处理设备能否处理工业废气呢？
一般废气处理设备主要不同的地方都可以有效地去除工厂车间的苯、和有机废气如甲醛、氨、酸碱废气处理，工业废气处理广泛应用等。在化工厂、电子厂、印刷车间，油漆车间，油漆厂、食品厂、橡胶厂、油漆厂、石化行业，如灰尘、异味、烟雾和其他的地方。
印刷厂废气处理将恶臭物质以曝气形式分散到含活性污泥的混和液中，通过悬浮生长的微生物降解恶臭物质合用范围广。其中电子温度(Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。被吸附的气体组分称为吸附质，多孔固体物质称为吸附剂。此外在废气处理设备的设计、制造、选购时应考虑其维护和检修的特性。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。