影响光栅尺测量精度的因素: 1:光学部分 2:电气部分 3:机 械部分 4:使用中的安装与传输接收部分,使用后的精度下降,机械部分自身的偏差。 1.光学部分对精度的影响: 光栅玻璃—主要的是母尺精度、每毫米刻线数、刻线精度、刻线宽度一致性等。 光发射源—光的平行与一致性、光衰减。 光接收单元—读取误差、读取响应。 光学系统使用后的影响—污染,衰减。 2.电气部分对精度的影响: 电源的稳定精度—对光发射源与接收单元的影响。
标题读 取响应与电气处理电路带来的误差; 电气噪音影响,取决于光栅尺电气系统的抗干扰能力 例如,如果电子细分,也会带来的误差,按照德国海德汉提供的介绍,海德 汉光栅尺的细分电气误差与正余弦曲线误差会有一个很小的差异。 3.机械部分对精度的影响: 安装精度。轴承的精度与结构精度。光学组建安装的精度。 例如,就轴承的结构而言,单轴承支撑结构的轴承偏差无法消除,而且经使用后偏差会更大,而双
标题大小,还要能跟得上被测量变化的快慢。在传感器的频响范围内,其输出量的幅值在一定范围内有个小幅变化(较大衰减为0.707)。因此,当输入值做正弦变化时,通常认为输出值是可以正确反映输入值的,但是当输入值变化的频率更高时,输出值将会产生明显的衰减,导致较大的测量失真。 位移传感器的灵敏度 灵敏度是指传感器在稳态工作情况下输出量变化△y对输入量变化△x的比值。它是输出一输入特性曲线的斜率。如果传感