如何控制无尘洁净室的温度湿度？
湿度过高发生的问题更多，相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密，所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。
影响无尘车间净化工程报价的因素
1、洁净度等级
洁净度要求高的无尘车间对所使用的设备，建造材料等要求也是非常高的，所以洁净等级越高，报价越高。
2、面积
无尘车间净化工程的面积大小也会影响着净化工程的造价，要建造的面积越大建造的时间就越长，建造的成本就越高。
净化工程车间的注意要点有哪些？
净化工程车间的净化原理：气流→初效净化→加湿段→加热段→工作台冷却段→中效净化→风机供气→管道→净化出风口→吹入室内→带走尘埃和其他颗粒→回风百叶窗→初步净化，重复以上过程，即可达到净化目的。
净化工程的di一步的关键是设计，工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工，还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。净化工程的等级划分比较的严格，一般按照7个等级进行的划分，分别是1级，10级，100级，1000级，10000级，100000，1000000级，净化安全要求是根据等级来实施的，净化工程等级数越小，级别是越高的，其含尘量越少，排名是靠前的。净化工程技术的兴起不过是上个世纪的事情，但今天净化技术发挥着重要作用则是有目共睹的。随着产品向着高、1精、1尖方向发展，对净化车间的依赖度也越来越高。送回风管道用热渡锌板制成，贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。