惠东外壳曝光显影厂信赖推荐「利成感光」素数算法

－微影技术

微影技术透过紫外光当光源，将绘制在光罩上的电路图形微缩投影至涂布光阻的利成上，再经过曝光显影蚀刻去除光阻等过程，在利成产生集成电路。随着制程微缩线宽缩小，光罩也变得更为精细，光源波长也需变短，以避免绕射效应产生。

过去紫外光波长一路从365nm进展到目前以ArF气体雷射达到193nm，ArF 193nm曝光机原理上可制作的小线宽为48nm，加上浸润式微影与多重曝光的搭配，众利成代工厂的制程辛苦走到7nm节点，采用多重曝光技术仅能做单一方向微缩，无法做2个方向的微缩，影响单位面积下所能容纳的晶体管数量，加以所需光罩数与制程数大幅增加，以往随着制程微缩，每芯片成本随之下降情况已不复见。因此曝光设备和技术人员也是质量控制的要点，使用的曝光机，是国外进口精密设备，曝光操作员拥有10来年经验的技术员，金属蚀刻曝光过程中在设备和人员上都能保证产品质量。

东莞市清溪利成感光五金厂本厂主要做曝光显影工艺，平面、圆弧面、凹凸面、喷砂1氧2氧阳极、五金丝印.五金腐蚀等产品加工，有多年经验，有需要以上的工艺欢迎您的到来参观和洽谈，可免费打。

显影的主要过程如下：对准曝光一曝光后烘一显影一坚膜一显影检测。

显影（ develop)

PEB之后，硅片冷却至239℃左右，与显影液温度相同，并与显影液发生化学反应。

一般来说，显影过程中被曝光和未曝光部分的光刻胶都会与光刻胶发生反应，因此，为得到良好的显影效果，可以通过改变显影液成分，显影温度，显影方式，与显影步骤等因素来加快曝光与为曝光部分光刻胶的溶解速率。

若对显影的要求不高，可以直接将硅片放入显影液槽中浸泡然后取出。对于大部分对显影要求较高的生产及实验过程，通常使用的匀胶显影机来自动控制显影过程，如图3回x回 e

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蚀刻加工中，显影工作非常重要，它是确定产品外形精度的决定因素，若曝光不到位，产品就不能得到设计的形状，影响产品的功能与性能。因此需要选择合适的曝光机来进行加工，深圳鑫海森自成立以来，主要专注于精密蚀刻加工的生产，更多的是外贸业务，金属蚀刻加工产品质量要求较高，因此鑫海森购入国外进口曝光机及自动化蚀刻加工设备6条，为客户提供更好的加工质量，满足客户各批量精密零件蚀刻加工需求。目前加工行业在致力打造喷涂曝光显影一条龙服务，这种表面装饰工艺可以克服贴合的一些不足，具备一定的优势，目前蓝思、伯恩的曝光显影加工工艺相对比较成熟。

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在金属蚀刻加工过程中，其中有曝光显影的部分，将需要蚀刻与不需要蚀刻图案在材料上区分开来，那么怎么准备曝光显影图案呢？其实是通过制作菲林，通过菲林上制作的图案，进行曝光显影后将蚀刻与非蚀刻部分区分开来。

胶印菲林

胶印的印版应该是正字，印到胶布上的是反字，后再转印到金属材料或其它介质上的时候呈现出的是正图文。

大家知道，印版的图文是用菲林片经过晒版工艺得到的，菲林有一定的厚度，为了尽可能地让图案与材料充分接触，菲林的图文晒版时应该在下方，同时在上方观察的效果应该是正图文，只有这样才能保证药膜与材料的零距离接触。(因为菲林具有厚度，如果药膜与材料之间间隔一层透明膜，晒版时光线会发生折射，印版经曝光的得到图案损失变形，会影响效果。通常将一个无缺陷的标准图形存于电脑中，然后用每个芯片的图形与标准相比较，观察出现多少不同的点，就会在硅片的defectmap中显示多少个缺陷。)

所以拿胶印菲林，阅读内容时，其药膜应该是在反面的，因此，通常称药膜朝下或反图文，也就是说，如果药膜在上面的话，我们看到的内容应该是反图文，即镜像效果。