曝光时间,s。
从上式可以看出,曝光总能量e随光强度j和曝光时间t而变化。当曝光时间丁一定,光强度改变,曝光总能量也随之改变。所以尽管严格控制了曝光时间,但实际上干膜在每次曝光时所获得的曝光总能量并不一定相同,因而聚合程度也就不同。
感光(曝光)完成后就要进行下一步工作——显影。显影的目的是通过显影将未曝光的地方冲走,经过曝光的地方固化,这样就能确定需要被腐蚀和不被腐蚀的图案。以便后续蚀刻加工的精度。曝光后,聚合反应还要持续一段时间,为保证工艺的稳定性,曝光后不要立即揭去聚酯膜,以使聚合反应持续进行。待显影前再揭去聚膜。曝光不足,导致单体聚合不,那么在显影过程中,会使的胶膜变软,线条不清晰,色泽暗淡,脱胶。曝光过度,会造成难显影,留有残胶。同时曝光影响图案的线宽,过量曝光会使图形线条变细,蚀刻产品线条变粗。原文链接:http://www.lvyou2.com/show/18493.html,转载和复制请保留此链接。
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