真空箱式氦检漏设备
适用对各类被检要求气密性漏率的产品(以下简称工件)进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空,使工件内外压差不大0.04Mpa,对被检工件充注氦气,应用真空箱法进行氦质谱气密性检测,通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用,向工件内充入规定压力的SF6工作气体。系统严格按照客户的要求设计制造,采用模块化的设计,充分考虑客户的检漏要求,同时也尽可能采用标准化的模块和部件,保证了系统的可靠性和可维护性。设备适应用电力行业,家用空调,制冷行业,汽车行业,新能源行业的气密性检测、应具有气体充注。三、设备腔体部分选用SS304板10mm厚,腔体法兰选用SS304板成活30mm。大漏判定功能,微漏定量检漏功能,工件泄漏总的判定功能,并能满足连续生产的需求,具有较高的自动化程度,操作简便、可靠、安全。
用氦气作为氦质谱检漏气体的原因
1.氦是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件.使用安全。
2、在氮两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与氮相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找氨峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的氦离子通过,提高了仪器灵敏度。开门方式,可根据用户生产工艺要求来设计,一般为平开门式、滑台合箱式。
逆流氦质谱检漏仪
逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如,多级油扩散泵对氦气的压缩比为102;对空气中其它成分的压缩比为lO4~106。检漏时,通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气,仍有部分返流到质谱室中去,并由仪器的输出指示示出漏气讯号。用氦气作为氦质谱检漏气体的原因1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
氦检漏设备
真空法氦质谱检漏:
采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。0Mpa)放人水中是否有气泡从工件中冒出来,冒泡的位置就是泄露的位置,而根据冒泡的速率,泡的速率,泡的大小,大约可估漏率。
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